光致诱蚀作用机理研究

基本信息
批准号:28870189
项目类别:面上项目
资助金额:4.00
负责人:洪啸吟
学科分类:
依托单位:清华大学
批准年份:1988
结题年份:1991
起止时间:1989-01-01 - 1991-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:杨增家,邹逸惺,肖继强,朱军,陈凤恩,董桂荣
关键词:
光致诱蚀无显影光刻光敏聚合物
结项摘要

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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