利用无机光致抗蚀剂研制微透镜阵列

本项目旨在研究利用无机光致抗蚀剂制作微透镜阵列的新途径，通过实验我们找到了一种确实可行的方法。研究的成功将从材料和工艺上为微透镜阵列的研究开辟了一条新途径。它的关键技术是应用无机光致抗蚀剂膜层经微细加工形成圆柱状阵列后加热熔融形成微透镜阵列。具体工艺如下：1、根据微透镜参数要求合成成膜用无机光致抗蚀剂。2、采用真空镀膜的方法制备薄膜。3、彩微细加工工艺形成微透镜阵列。用该方法研制出单元透镜直径为0.8mm-1mm的微稳透镜阵列。课题研究达到了世界先进水平，研究成果受到了国内外同行的关注和好评。微透镜阵列在迅速发展的大容量光通信多路传输与交换系统、高速光信息处理及光计算等领域中具有巨大的应用前景。