微电子用高敏感化学增强刻蚀材料研究
基本信息
批准号：59073127
项目类别：面上项目
资助金额：4.60
负责人：洪啸吟
学科分类：
依托单位：清华大学
批准年份：1990
结题年份：1993
起止时间：1991-01-01 - 1993-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：邢玉芳,邹逸惺,王常胜,张静德,王雨生
关键词：
化学增强作用激电子聚合物刻蚀材料
结项摘要
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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