反应活性等离子体对功能薄膜的生长行为和薄膜质量的影响

通过反应活性等离子体的输运行为及薄膜的成核和生长行为的研究，了解反应活性等离子体对表面化学反应动力学过程的影响，揭示反应活性等离子体，特别是远程扩散等离子体中各种激发态原子在ZnO等功能薄膜成核和生长中的作用。通过研究反应活性等离子体中带电粒子对薄膜成核和生长行为的影响，探讨薄膜的成核过程和生长行为的控制方法。为改善反应活性等离子体辅助的功能薄膜质量，实现薄膜生长过程的有效控制提供必要的理论依据和实验基础。