原子氢辅助MBE材料生长

基本信息
批准号:69876036
项目类别:面上项目
资助金额:14.90
负责人:封松林
学科分类:
依托单位:中国科学院半导体研究所
批准年份:1998
结题年份:2001
起止时间:1999-01-01 - 2001-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:王玉琦,吉秀江,李树英,朱海军,王海龙,汪辉
关键词:
分子束外延原子氢辅助生长单电子现象
结项摘要

本项目研究原子氢在不同材料生长中的作用;原子氢在MBE生长材料中的物理和工艺问题;饪掏夹蔚某牡住PM加工样品、半成品电子学器件在原子氢辅助下再生长及相关问题。单电子现象探索。它对我们参加国际竞争,在该领域前沿性工作有重要意义。它也是光电集成和一维。零维量子器件等前沿研究的基础。

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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