无衍射光莫尔条纹二维直线度测量理论与技术研究

将无衍射光与模尔条纹技术相结合，发展一种新的直线度测量技术。无衍射光可在空间形成不随传播距离变化的贝塞尔圆环，该圆环可作直线度测量的基准，用一圆环光栅与贝塞尔圆环相迭，可产生莫尔条纹，由条纹变化可求出Ｘ和Ｙ方向位移，从而实现直线度测量。此法具有精度高、体积小、操作简单等优点，可适用于长、短距离连续二维直线度测量。