用LIGA工艺制造微型传感器和微型机械及其测试技术研究

本项目系统研究了微合金方法改进NdFeB晶间显微组织，从而提高磁体矫顽力和热稳定性。晶间单独和复合合金化均能提高磁体矫顽力，但复合合金化的磁体矫顽力比单独合金化提高了两倍。本项目对合金化后的磁体晶间显微组织进行了深入研究，并设计了特殊的晶间腐蚀法，发现了合金元素在晶界的偏聚现象，解释了极少量合金元素为什么提高磁体矫顽力的原因，对合金化理论和矫顽机理探讨提供了新的实验途径和实验证据。本项目成功对烧结磁体进行了热挤压，并首次对挤出相进行了分析，这也为分析烧结磁体显微组织和矫顽力机理的研究提供了新的实验方法和实验证据。研究结果对子阐明微量合金元素提高矫顽力机理具有重要意义。