大尺寸超高频容性耦合等离子体反应器中电磁效应的研究

建立描述大尺寸、超高频容性耦合放电过程的物理模型，通过对流体方程和Maxwell方程组的耦合求解，给出大尺寸、超高频容性放电下等离子体行为和电磁场传播过程的精确描述，着重研究不同的反应器尺寸、电源频率、电源电压和气压对电磁效应（驻波效应、趋肤效应和边界效应）的影响，给出感应电场、感应磁场、电势、等离子体密度、离子通量等参量径向分布图象。给出反应器尺寸、电源频率与电磁效应之间的依赖关系，揭示高频放电下放电模式从容性向感性转变的机理，研究边界效应对空间电势与等离子体参量径向分布的影响，提出减少电磁效应的优化方法，为等离子体加工工艺中的反应腔室设计提供理论依据。