基于AFM加工技术的自组装有序纳米微结构形成机理研究

本项目针对纳米技术和纳米电子器件的发展对自组装有序纳米微结构加工技术的迫切需求，提出了"AFM探针刻蚀技术辅助自组装有序纳米微结构的研究"这一前沿性研究课题。通过AFM探针刻蚀技术制备出带有微米尺度的复杂二维图形和三维结构的基片，然后利用基片上的微米结构结合所施加的外场来引导嵌段共聚物薄膜自组装过程，进而在一定范围内实现有序纳米微结构的排列。这种方法将自上而下的传统机械刻蚀方法和自下而上的自组装方法巧妙地结合起来，一方面拓展了嵌段共聚物自组装有序纳米微结构的丰富性和人为调控长程有序自组装纳米微结构的新途径，另一方面，可以将微米结构与纳米结构有机地组装起来，生成对纳米电子器件有重大意义的自组装有序微米/纳米复合结构，为发展纳米电子器件的加工工艺提供新的手段。