微纳米加工表层形成机理和相关技术基础

本课题是用近代物理、化学等有关基础理论，研究微纳米表成形成机理以及表面几何形貌和机械物理特性的检测方法、装置、评价体系和指标揭示表面质量与加工各工艺参数间的内在联系，建立表面质量分析与工艺方法优化专家系统，同时在探索表面微隐修整机理及技术。这项研究为建立纳米加工理论和新的学科体系，以及在工程上实现加工前设计出超光滑表面的目标打下基础。