基于嵌段共聚物自组装模板的纳米微加工技术研究

近年来，对于嵌段共聚物膜体系形态结构的研究越来越引起重视。其中一个重要原因是人们发现利用嵌段共聚物薄膜的自组装图案为模板制备相应结构纳米材料具有广阔的前景。它包括两方面内容：1）模板图案的复制，即如何利用自组装模板制备相应结构纳米材料；2）模板图案的调控，即如何调控自组装模板图案以调控所加工的纳米结构；这其中，模板调控十分关键，因为它是实现按人的意愿进行纳米结构加工的前提与基础。本研究拟利用溶剂蒸汽熏蒸处理为主要调控手段，结合原子力显微镜纳米探针局部调控技术来实现对模板图案的全方位调控。从实验角度重点研究温度、溶剂的特性（溶度参数、蒸气压）以及处理时间对形态调控的影响；从理论角度研究模板图案形态转变的热力学与动力学机理；进而研究利用调控好的模板进行纳米微加工的技术工艺。争取提供一种过程高度可控、形态多样化、工艺简单、高效自组装模板加工纳米零件或结构技术。