基于微纳米加工技术的新型传感器微结构研究

系统研究三氧化二铝膜化学定向腐蚀生长机理，建立腐蚀微孔通道及致密阻挡层物理数学模型，探讨晶型结构转变的规律和三氧化二铝微机械加工理论，致力解决相关的韧性化、掩膜、刻蚀、剥离等相关技术，制造具有MEMS特点的微小型化、低功耗、一体化的新型传感器结构体，并提供不同性质的多种型结构的陶瓷薄膜，为传感器技术发展开辟新的途径。