垂直梯度凝固技术生长优质半绝缘砷化镓单晶研究

本项目在垂直梯度凝固技术生长优质半绝缘砷化镓单晶做了大量的基础性，开创性的工作，取得了较好的结果。尤其是在热场设计、氧化硼脱水工艺、坩埚外型设计、引晶技术、脱埚技术方面都有所突破，成晶率、成品率都有很大的提高，所生长的半绝缘砷化镓单晶电阻率、迁移率、位错均达到国内最好水平。用户反映较好，现已具有批量生产能力。该技术已转郑州长城铝业从鑫股份公司。