扫描电镜中衬度产生的模拟计算

本课题采用一种新的蒙特卡洛模型以计算机模拟方法研究电子束在固体样品中的散射过程及伴随X光和二次电子的产生和发射过程，并应用于扫描电子显微学、电了探针微分析术和俄歇电子能谱。根据我们在国际上率先提出的实现不含人为拟合参数的一种新型蒙特卡洛模型成功地开发了相应的计算机模拟程序，它能较好地处理低能二次电子的级联产生过程，其二次电子产额的理论值与实验值吻合，而且计算出的俄歇电子能谱中背散射电子能谱和电子探针中的连续X光谱在整个能量区间内与高精度实验结果近于完全一致这些工作得到扫描电子显微学和表面分析学界的数位国际学术权威的一致好评。此方法已成为目前国际上最为先进的电子一固体相互作用的蒙特卡洛方法。