定量表面电子能谱中的表面效应问题研究

本项课题着重于定量地理解和描述表面电子能谱学（反射电子能量损失谱、电子弹性峰谱、俄歇电子能谱、X光电子能谱）中电子信号的产生和发射过程以及级联二次电子对电子能谱背景的贡献，特别是在材料的表面、界面和体内的非弹性散射过程，研究表面激发和体激发对电子非弹性散射的分别贡献，从而对电子非弹性散射平均自由程进行表面效应修正。根据电子自能的理论计算得到非弹性散射截面并与实验相比较，结合采用蒙特卡罗方法模拟电子在材料表面和体内的输运过程，计算定量表面分析中所需的表面激发参数以及新的背散射因子，为极微尺度至纳米尺度下的表面微分析和表征手段的进一步发展提供理论依据。