定量表面电子能谱化学分析中的背景修正

本课题研究首先建立了带电粒子与固体材料表面相互作用的非弹性散射理论，在曙光高性能并行计算机上数值计算得到了定量表面电子能谱分析中的重要物理量--与深度和电子运动方向相关的局域非弹性散射平均自由程以及散射微分截面，并归纳总结了一系列金属材料的表面非弹性散射平均自由程。进而改进了传统的体相互作用的蒙特卡洛电子散射计算机模拟方法，使之应用于散射截面随位置和方向变化的表面相互作用问题，以提高定量俄歇电子能谱及光电子能谱分析中背景计算的准确性。为验证理论模型，模拟计算了多种材料的角分辨反射电子能量损失谱，其结果与实验谱型吻合极好。研究了表面和体模式激发对表面电子能谱分析中背景的贡献，提出了相应的修正方法。