本项目利用微电子技术、MEMS技术、传感器技术等,研究二维硅微加速度计的相关基础理论及关键共性技术。以宏观理论为基础,研究微小尺度下二维硅微加速度计系统的力学特性、气体阻尼特性、交叉耦合等基础理论,建立相应的理论模型、系统的结构优化设计、工艺优化设计及仿真系统。
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数据更新时间:2023-05-31
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