二维硅微加速度计设计技术研究
基本信息
批准号：10176040
项目类别：联合基金项目
资助金额：18.00
负责人：温志渝
学科分类：
依托单位：重庆大学
批准年份：2001
结题年份：2004
起止时间：2002-01-01 - 2004-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：苏伟,何清义,吴英,张正元,陈光焱
关键词：
二维加速度计设计系统仿真
结项摘要
本项目利用微电子技术、MEMS技术、传感器技术等，研究二维硅微加速度计的相关基础理论及关键共性技术。以宏观理论为基础，研究微小尺度下二维硅微加速度计系统的力学特性、气体阻尼特性、交叉耦合等基础理论，建立相应的理论模型、系统的结构优化设计、工艺优化设计及仿真系统。
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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