微型多道成象光谱分析系统的集成化新技术研究

本课题首次创造性地提出了利用MEMS技术、微光学技术、图象传感技术和信息处理技术将庞大复杂的多道成象光谱分析仪的分光系统、成象系统、探测系统及信息处理系统以巧妙的组合方式混合集成的全新概念及设计制造思想。探索了系统的相关基础理论及关键技术，确定了系统的总体设计方案。分析、推导了系统几何结构的理论计算公式，进行计算机模拟。研究了镜面微腔的精密深腐蚀工艺、系统的高次衍射及本底噪声的处理方法、二元微透镜的衍射成象理论及象差分析、探测列阵的设计与工艺、系统的一体化装调技术、光谱信息的获取与处理等。首次研制出了原理性实验样品，成功地获得了400-750nm波段的光谱信息。