离子束辅助沉积膜的非微分俄歇电子能谱研究
基本信息
批准号：59101013
项目类别：青年科学基金项目
资助金额：3.50
负责人：张庆瑜
学科分类：
依托单位：大连理工大学
批准年份：1991
结题年份：1994
起止时间：1992-01-01 - 1994-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：闻学亚,夏元良,王红卫,苏晓维
关键词：
***
结项摘要
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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