低能粒子对表面原子成核及薄膜生长的影响

发展和完善以运动学ＭＣ和分子动力学相结合为基础的薄膜生长模拟方法；结合薄膜成核、表面微观形貌和薄膜微观结构的实验研究，在原子水平上揭示低能粒子所导致的瞬时动力学过程及其演化规律对表面原子的成核及薄膜生长模的式的影响；探讨低能粒子对薄膜生长影响的微观物理机制。为实现薄膜生长的定量控制和合成工艺设计，提供必要的理论基础。