薄膜光子集成材料的合成工艺及光学特性研究

利用离子束辅助沉积技术探索用于有源光子集成器件制备的薄膜光子材料的合成工艺。研究薄膜的光学特性与制备工艺间的关系，探讨薄膜材料的微观状态对薄膜光学特性的影响及其物理本质。研究薄膜材料的后处理工艺对改善材料的光学特性、提高薄膜质量的作用和途径。为发展有源光子集成器件、进而建立全光通信网络，提供必要的实验基础和技术储备。