纳米加工辅助表面上单壁碳纳米管的可控生长

在表面直接构筑各种可控的单壁碳纳米管基纳米结构单元是目前纳米器件研究领域中的热点问之一，也是将碳纳米管应用于纳米器件中的瓶颈问题。本项目结合扫描探针显微镜（SPM）纳米结构加工、纳米压印（Nanoimprint）、化学气相沉积（CVD）和化学自组装等技术在硅、氧化硅表面实现单壁碳纳米管的可控生长，包括定点生长和定向生长。进而在表面直接构筑各种可控的纳米结构单元并对其电子输运性质进行探索。同时建立在表面直接构筑大面积纳米结构单元阵列的有效方法。该项目的开展将为未来器件结构构建的研究奠定一定的基础。