电学THz波检测器核心器件研究

太赫兹波的产生和检测技术是THz波研究领域的重点和难点。基于电学方法的THz波检测器具有体积小、成本低、可室温工作、与未来THz通信技术兼容等显著优点，具有广阔的应用前景。但由于技术的限制，目前THz波检测器多借助光学方法实现，完全基于电学方法的THz波检测器在国际上仍处在探索阶段，若干关键技术问题尚需突破。为此，我们将这些关键问题归结为若干个微电子器件的设计与制造的难点，在本项目中进行深入研究。本项目将提出适用于非线性传输线的新结构THz GaAs变容二极管，并制成器件样品；提出并制成THz左手非线性传输线；将左手非线性传输线与耿氏振荡器结合，构成高效THz本振源；提出适应较低本振信号的混频二极管器件结构，制成器件样品。这些关键问题的解决不但将为电学THz波检测器的研制奠定器件上的基础，而且通过本项目所获得的高性能THz器件设计与制造技术有助于促进我国THz技术研究与应用水平的提高。