大量程纳米位移测量的半导体激光自混合干涉机理探讨

研究了半导体激光自混合干涉的机理，包括形成自混合干涉的条件，强弱反馈的界定。研究了形成正弦自混合干涉信号的条件和机理，形成非谐波信号倾斜影响因素以及不对称特性在速度和位移测量中的方向特性。重点研究了弱光反馈的自混合干涉产生非谐波特性的机理以及影响这个特性的主要参数。在此基础上，研究了绝对距离测量以及位移测量的新方法，提出双光束参技术和一种新的差动结构以提高信噪比进而提高测量分辨率和精度的新方法。首次完整系统地说明了自混合干涉信号的形成机理，信噪比的影响因素，提出了一个新的结论。系统总结了半导体激光干涉的理论合方法出版专著一部以及论文6篇，还有3篇在审稿中。其中一篇为EI收录。