大功率和“功率集成“器件用NTDCZSi氧的控制与利用
基本信息
批准号：68976011
项目类别：面上项目
资助金额：5.00
负责人：徐岳生
学科分类：
依托单位：河北工业大学
批准年份：1989
结题年份：1991
起止时间：1990-01-01 - 1991-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：张维连,鞠玉林,任丙彦,张华,李养贤,陈炳贤,高秀清,张福祯,田祥云
关键词：
功率集成氮化硅坩埚等价掺杂
结项摘要
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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