基于SOI技术多传感器芯片集成技术研究
基本信息
批准号：50475085
项目类别：面上项目
资助金额：25.00
负责人：赵玉龙
学科分类：
依托单位：西安交通大学
批准年份：2004
结题年份：2007
起止时间：2005-01-01 - 2007-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：余继前,吴祖堂,赵立波,高建忠,宋康,杨静,徐敬波,朱笠
关键词：
芯片SOI集成多传感器MEMS
结项摘要
本项目应用微机械电子MEMS技术和方法，研究基于SOI技术的多传感器芯片集成技术。依据压阻效应的高测量灵敏度和SOI材料的抗辐射、高稳定性及易集成的特征，开展压力传感器、加速度计和温度传感器集成研究工作。解决多传感器集成中微型化、多参量之间的相互干扰以及工艺兼容问题。其研究目标在5mmX5mmX0.5mm的芯片上集成上述三种传感器，主要研究多传感器集成中结构参数和制造中共性问题。研究具有较高测量灵
项目摘要
项目成果
{{index+1}}
{{i.achievement_title}}
{{i.achievement_title}}
DOI：{{i.doi}}
发表时间：{{i.publish_year}}
暂无此项成果
数据更新时间：2023-05-31
其他相关文献
1
路基土水分传感器室内标定方法与影响因素分析
路基土水分传感器室内标定方法与影响因素分析
DOI：10.14188/j.1671-8844.2019-03-007
发表时间：2019
2
基于多模态信息特征融合的犯罪预测算法研究
基于多模态信息特征融合的犯罪预测算法研究
DOI：
发表时间：2018
3
惯性约束聚变内爆中基于多块结构网格的高效辐射扩散并行算法
惯性约束聚变内爆中基于多块结构网格的高效辐射扩散并行算法
DOI：10.19596/j.cnki.1001-246x.8419
发表时间：2022
4
多空间交互协同过滤推荐
多空间交互协同过滤推荐
DOI：10.11896/jsjkx.201100031
发表时间：2021
5
多源数据驱动CNN-GRU模型的公交客流量分类预测
多源数据驱动CNN-GRU模型的公交客流量分类预测
DOI：10.19818/j.cnki.1671-1637.2021.05.022
发表时间：2021
赵玉龙的其他基金
批准号：20972026
批准年份：2009
资助金额：34.00
项目类别：面上项目
批准号：41776047
批准年份：2017
资助金额：73.00
项目类别：面上项目
批准号：51275402
批准年份：2012
资助金额：80.00
项目类别：面上项目
批准号：51704247
批准年份：2017
资助金额：26.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：21871044
批准年份：2018
资助金额：66.00
项目类别：面上项目
批准号：60776048
批准年份：2007
资助金额：25.00
项目类别：面上项目
批准号：41306041
批准年份：2013
资助金额：26.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：51906056
批准年份：2019
资助金额：25.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：21472017
批准年份：2014
资助金额：90.00
项目类别：面上项目
批准号：20602006
批准年份：2006
资助金额：23.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：21172032
批准年份：2011
资助金额：60.00
项目类别：面上项目
相似国自然基金
1
多传感器图像像素级融合处理芯片集成技术研究
批准号：61371004
批准年份：2013
负责人：曲秀杰
学科分类：F0118
资助金额：88.00
项目类别：面上项目
2
多功能微传感器芯片系统集成技术研究
批准号：90207006
批准年份：2002
负责人：夏善红
学科分类：F0404
资助金额：35.00
项目类别：重大研究计划
3
SOI基40G多波长单片集成接收芯片基础研究
批准号：61307034
批准年份：2013
负责人：张家顺
学科分类：F0502
资助金额：26.00
项目类别：青年科学基金项目
4
体硅微机械惯性传感器与CMOS电路单芯片集成技术研究
批准号：50575001
批准年份：2005
负责人：闫桂珍
学科分类：E0512
资助金额：27.00
项目类别：面上项目