在国内首次从抛光机理、抛光液研制、装置优化设计与开发、工艺参量分析等方面系统地开展非球面元件电流体确定性抛光技术的研究。选择计算机控制电流体抛光技术为突破口,旨在解决电流体抛光机理的精确描述、抛光液的性能分析与配方开发、电流体抛光装置的结构精巧设计、外电场施加方式及电场场强调节的分析计算、材料去除模型的建立与优化、工艺因素的影响分析等一系列关键问题。建立起的实用化电流体确定性抛光非球面元件特别是小
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数据更新时间:2023-05-31
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