微电子机械仿真及其掩模数据生成系统的研究

微电子机械是八十年代末期诞生并且在迅速发展的一门新的高技术学科，本项目研究格开发知用于微电机设计和制造的计算机辅助设计的算法和工具。首先提出了一种计算微电子机械各部件间微摩擦力的人工神经网络模型，可以根据微电子机械的制造工艺、材料和几何尺求出各部件间的微摩擦力。在此基础上设计并开发了一种微电机仿真系统，可以在微电子机械制造前，对它的性能进行仿真和优化，大大减少了微电子机械设计和制造所需要的时间和费用。此外，本项目还开发了一个特殊图形掩模数据生成系统，在该系统中，设计了一系列有效的图形算法，可以把任何图形转换成制版设备需要的数据格式，解决了微电子机械的加工问题。