微电子机械系统(MEMS)中的力学量的细微测量

随着微电机械系统的发展，其相关力学量的分析和测量计术极待解决。本课题围绕着微型传感器、谐振式力传感器、多功能类皮肤触觉传感器的敏感单元等具体对象，进行了力学模型建立、有限元分析，为了对其进行实验测试，研制了对微型器件的三维力加载装置，以及压电晶体基础激励小平台，发展了一种以激光为光源的光纤式自反馈迈克尔逊干涉仪，测试了传感器的固有频率、振型、阻尼，以及在静。动载荷下应力分布等，所得结果证明：在毫米量级的微结构，有限元分析与实验检测基本一致，误差可能由于加工精度不够好而产生的，尺度效应影响尚不大，所测数据为传感器优化设计（结构造型、电子元件集成位置、响应速度等）提供了依据。