LIGA技术制作高性能微电子机械模具研究
基本信息
批准号：10375058
项目类别：面上项目
资助金额：18.00
负责人：田扬超
学科分类：
依托单位：中国科学技术大学
批准年份：2003
结题年份：2005
起止时间：2004-01-01 - 2005-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：刘刚,胡新宁,朱学林,郭育华
关键词：
微电子机械同步辐射光刻LIGA技术
结项摘要
随着微电子机械的广泛应用，人们希望大批量低成本生产微电子机械。通用方法是先制作微电子机械模具，再经压模或铸模来进行大批量的复制。LIGA技术是大批量低成本生产微电子机械的重要方法之一，它包括深度同步辐射光刻、电铸和塑铸工艺。在实际脱模过程中，由于微电子机械与模具表面的摩擦使得脱模成功率低，模具寿命短，所以目前这种批量制作微电子机械的方法还处在实验室研究阶段。本项目主要对LIGA技术的微电铸工艺进行
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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