利用超微磨粒电泳动特性的精密磨削技术的研究

提出并初步建立了电泳磨削的理论框架，首次系统地研究了是民泳磨削工艺技术，取得了关于电泳磨削技术的较全面的研究结果。提出了自进给电泳磨削理论，建立了自进给电泳磨削深度的模型，这一模型可用来描述和预测磨削深度，并可通过控制磨削时间来达到亚微米级的去除量。提出并实现在线卧平面电泳磨削技术，完成了对单晶硅片、氧化铝陶瓷和玻璃等硬性材料的电泳磨削试验研究。首次实现了一种全新的超微细磨粒磨具--在线电泳砂轮。采用电泳砂轮磨削加工后硅片，玻璃材料的表面粗糙度可达Ra0.006微米，获得了纳米级的加工质量。就脆性材料的电泳精精密切割技术进行了较深入的研究，首次较完整地阐述了电泳精密切割的机理。