抗疲劳集成嗅觉传感MEMS的研究

主要研究内容及成果：1、基于硅集成制造工艺的新型微结构气敏传感器阵列设计。采用了计算机有限元辅助分析设计，提出并设计制作了一种简单易行的新型微结构嗅敏阵列传感器。采用硅工艺完成并封装了二个、四个单元阵列的嗅觉传感器，其中每一单元包括气敏元件、加热元件和测温元件，单元尺寸为1x1mm，各单元之间有隔热的V型槽，在瞬态加热情况下有明显热隔离效果;2、采用磁控溅射方法制备了纳米气敏功能薄膜，该方法与硅器件工艺相兼容并易于材料匹配与参杂;3、用于控制被测气体与清洗气体切换的微执行器设计制作。完成了一种静电驱动的单向硅结构微阀，静电驱动电压小于50V;4、完成抗疲劳集成嗅觉传感MEMS的实验系统，并将其应用于医疗诊断领域。