MSM结构光电子器件及其单片集成工艺技术的研究
基本信息
批准号：68786004
项目类别：专项基金项目
资助金额：3.00
负责人：史常忻
学科分类：
依托单位：上海交通大学
批准年份：1987
结题年份：1990
起止时间：1988-06-01 - 1990-06-01
项目状态： 已结题
项目参与者：
关键词：
***
结项摘要
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项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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