硅基光电子器件及集成

一、在国际上首次研制成功工作于1.3μm和1.55μm波段的五种硅基光电子器件，包括：反射型光波导开关，Mach-Zehnder型调制器，1×2多膜干涉型波分复用器。调制器与多量子阱探测器的单片集成，波长信号分离器与红外探测器的单片集成。器件的大多数性能都优于国外同类型的非硅基光电子器件。而能够容易地实现单片集成是其最大特点。二、首创了一种折涉率反转型的硅基光波导，可以用硅器件工艺来实现。三、首次用分子束外延和电化学腐蚀结合的方法，制备一种掺Er多孔硅/多孔硅/硅三层量子结构，既能实现高效率的注入和激发，又能有效抑制能量背转移退激发，在解决Er硅发光的温度淬灭问题上，开辟了新的途径。