微机电系统若干关键机械学问题

针对微机电系统研究现状和发展需要，集中力量在几个普通存在的关键机械学问题，包括微构件机械性能与力学分析、微摩擦与控制、微磨损与表面纳米耐磨涂层、微流体动与润滑力学、微机构设计与系统动力学等领域，通过实验研究和理论分析，揭示微构件或系统的性能及其影响因素和变化规律，建立物理模型，并提出设计理论与方法，以期应用于实际。