微机电系统动态建模与若干基础问题研究

微机电系统还处于开创时期, 人们对它还缺乏统一的全面认识。这就促使人们致力于研究各个相关学科中的细观科学问题以及在这种尺度上的相互作用。本项目拟针对目前微机电系统研究的现状，对微机电系统的系统建模以及微动力学问题等开展一定的基础研究。引入神经网络抽取主成分的方法来建立微型机械的宏模型；针对具有少数几个自由度的简单微机电系统模型，结合宏观的牛顿力学和微观力学的相关理论来建立这些微机电系统模型的微动力学模型，探究建立的微动力学模型和宏观牛顿力学模型之间的关系；并分析尺度效应对微机电系统弹性常数的影响和微机电系统的温度效应。项目的完成不仅对微机电系统的研究具有理论意义，而且对微机电系统的实际应用具有一定的现实意义。