激光检测原子力/摩擦力显微技术及纳米摩擦磨损的研究

将现有的原子力显微镜改进为兼有原子力显微镜，摩擦力显微镜和扫描隧道显微镜功能的新型扫描探针显微镜，仪器功能齐全，分辨率高用标准样品对扫描探针显微镜的形改进行了标室；通过软件开发利用E反Y向反描方向，将摩擦力信号从横向力信号中提取出来，并利用有限之计算等方法，对摩擦力大小进行了标定，计算出微摩擦系数，对磁记录介质的表面形统分形维数，微摩擦特性进行了测量，分析了微摩擦特性及微接触状态。对Au膜、Teflon/si3N4膜MoS2、DLC膜的表面形统，微观摩擦磨损性能做了测量，找出了薄膜的微摩擦磨损机理与强构的关系。此科还对光盘。LB膜，AS（+）、B（+）离子注入硅的微观摩擦磨损性能进行了评定，初步探索归纳出一些微观摩擦学的基本规律。