室内扭矩载荷动态模拟系统及其微机控制

本研究是利用我所发明的“不等电位空心阴极效应法”（简称双阴极法）的电流放大特性，在真空容器中设置了平行相对的双阴极，利用两阴极间和格栅状阴极间产生的不等电位空心阴极效应，使通入的反应气（H2，N2，B2H6）活化、离解、形成含有B（+）、N（+）、H（+）等离子或原子及BH原子集团的等离子体，在试样的表面上合成BN的薄膜。我们研究了不同的工艺参数，反应气配比、流量、气压、电参数、试样温度、送气方式对合成薄膜的影响规律，找出了最佳工艺参数。对合成的薄膜利用扫描电镜进行了表面形貌观察，利用X-衍射仪和红外谱测定了其结构，利用能谱仪测定了表面的成份。经测定利用此法可以合成C—BN和h—BN的混合膜，但质量不高，有阴极溅射源的污染及其它杂质。