微机电系统中稀薄气流的统计模拟

稀薄气流广泛存在于微机电系统，目前还没有现成的理论计算方法可以有效分析这类流动。我们提出的原始信息保存法，计算量小，简便易行，已成功模拟了过度领域低速单方向流动。本研究要将该方法推广应用于更一般的情况，并与位置元算法有机结合，探索发展微机电系统中稀薄气体流动和传热过程的通用模拟途径，并付诸实用。