赋能低温气相外延的研究
基本信息
批准号：68876115
项目类别：面上项目
资助金额：4.00
负责人：刘明登
学科分类：
依托单位：吉林大学
批准年份：1988
结题年份：1991
起止时间：1989-01-01 - 1991-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：全宝富,阎卫平
关键词：
气相外延光CVD等离子体
结项摘要
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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