射频低温等离子体解析式理论模型的建立与实验验证

用解析方法得到的描述射频等离子体中各物理量随时间和空间变化的三维解析表达式，包括电子和离子的 密度、速度、湿度、电场、电位、电流密度和电离速度等。这些解析表达式能够明确、直观地表达出各种放电参数对放电的总体影响，分析各物理量之间的关系。还通过理论结果和其他作者的实验结果相对照，说明两者能较好吻合。这说明本项研究能正确描述各物理量的相互关系，体现了解析式理论模型结果正确、直观的特点。