光纤微腔式高精度海洋压力测量方法研究

High-accuracy pressure measurement is indispensable for the research and the exploitation of marine resources. The advantages of electrical insulation, corrosion resistance and durability make optical fiber pressure sensor suitable for ocean pressure measurement. Therefore, high-accuracy measurement of ocean pressure based on fiber-optic technology is significance to the exploitation of marine resources. This project is aimed at the pressure measurement of wide range (over 100MPa), high-accuracy and high-stability required in marine applications. In this project the new structure with optical fiber hybrid micro-cavity, the sensing theoretical model, the aging method and the solution of temperature-pressure cross-sensitivity will be studied in detail to enhance the measurement range and stability in sensing. In order to obtain the phase information of the hybrid micro-cavity with high-accuracy, this project intends to investigate the technology of extended dimension in polarized low-coherence interferometry, and propose a direfringence dispersion compensation demodulation method base on the interference pattern and location-dependent dispersion in spatial domain. Depending on all the studies mentioned above, this project will establish the experimental system, compensate the nonlinear of micro-cavity, and then verify the effectiveness of the proposed method in deep water simulator tank. This project will promote the developing of optical fiber sensing technology in marine applications, and provide a new technology for pressure measurement in harsh environment with wide range and high-accuracy.

海洋科学研究和资源开发离不开压力参量的高精度测量，而光纤压力传感器电绝缘、耐腐蚀、耐久性强的优点，使其成为海洋监测应用的理想选择，因此，基于光纤技术的高精度压力测量对海洋资源开发有着重要的意义。本项目针对海洋环境上百兆帕的压力范围以及高精度、高稳定性的压力测量需求，研究光纤混合微腔传感新结构及其传感理论模型，探索温度老化与温度压力交叉敏感消除机制，实现具有大动态范围的高稳定性光纤压力传感；研究偏振干涉光路维度拓展方法，利用位置相关色散和低相干条纹在空间上的分布特征，提出双折射色散补偿解调算法，实现混合微腔位相信息的高精度提取；建立海洋光纤压力实验系统，研究光纤微腔非线性补偿方法，最终在深水仿真压力舱中实现对高精度海洋压力测量方法的验证。通过本项目的研究将促进光纤传感技术在海洋监测领域的应用，为恶劣环境下大量程、高精度压力测量提供新的技术手段。

海洋科学研究和资源开发离不开压力参量的高精度测量，而光纤压力传感器电绝缘、耐腐蚀、耐久性强的优点，使其成为海洋监测应用的理想选择，因此，基于光纤技术的高精度压力测量对海洋资源开发有着重要的意义。本项目针对海洋环境上百兆帕的压力范围以及高精度、高稳定性的压力测量需求，开展了基于混合法珀微腔结构的高精度海洋光纤压力传感方法研究。项目进行了光纤微腔式深水压力传感理论模型的建模仿真和实验研究，对传感器结构参数进行优化，研制了埋入式光纤法珀超高压力传感器；研究了光纤微腔压力传感器温度非线性响应，分析传感器芯片残余气压及热应力对膜片形变的的影响，进行了光纤法珀压力传感器老化实验研究，实现了对传感器的应力释放；基于MEMS技术构建光纤混合微腔传感新结构，利用空气腔和硅腔分别对压力和温度参量进行传感，解决了温度压力双参量交叉敏感的问题；基于带二维倾角的双折射晶体研究了偏振干涉光路维度拓展方法，构建基于面阵扫描系统的宽动态范围空间偏振干涉解调系统，将解调系统动态范围扩展至101dB；利用位置相关色散和低相干条纹在空间和频率域上的分布特征，提出双折射色散补偿解调算法，实现具有大动态范围的高稳定性微腔相位提取，算法的满量程精度达到0.017%F.S.；搭建超高压力传感器实验系统，在2-120MPa油压范围下，传感器压力分辨率达到0.0276MPa；建立海洋光纤压力实验系统，最终在深水仿真压力舱中实现对高精度海洋压力测量方法的验证，在20MPa水压环境下，传感器压力分辨率达到0.015MPa。通过本项目的研究将促进光纤传感技术在海洋监测领域的应用，为恶劣环境下大量程、高精度压力测量提供新的技术手段。