基于频闪散射照明下数字散斑技术的MEMS运动特性测试方法

项目提出一种基于频闪散射照明条件下电子散斑显微干涉与数字散斑相关技术相结合的MEMS运动特性测试新方法；研究时间相移技术应用和时间序列散斑干涉图像关联的实现算法，分别进行反射和散射表面微结构离面变形与周期运动特性的测试；研究数字散斑相关技术用于平面微位移场测量的实现方法与算法，进行三维运动特性测试中平面位移的解耦，实现平面与离面运动特性的精确测试。MEMS运动特性的测试不仅是评价其功能和性能的关键，而且在已知静态或动态载荷作用下微结构变形或运动特性可用于进行微尺度机械力学特性的分析与失效模式的理解，为MEMS可靠性研究提供技术手段。散射照明的电子散斑显微干涉可用于反射表面的测试，也避免了传统显微干涉无法应用于散射表面测试的局限性，数字散斑相关技术可同时实现平面刚性位移和变形的测量,该方法具有系统结构简单、抗干扰能力强、振动特性分析快等优点，适于MEMS工艺线的在线测试与质量检验。