本项目结合衍射光学、半导体光电子学和低维物理的研究方法,针对当前GaN基多量子阱发光二极管(LED)存在的出光效率低,电流扩展欠佳,散热难等问题,逐一提出解决方案。运用表面纹理化,激光剥离,无支撑GaN基外延片,倒装焊等技术手段,研制新型的GaN基发光器件。特别是创新地提出了将二元光学微结构应用于GaN基量子阱LED。利用电子束曝光、聚焦离子束刻蚀、纳米模压等纳米微加工先进技术,设计制备具有聚焦、
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数据更新时间:2023-05-31
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