电讯系统中硅微机械谐振器及滤波器的振动鲁棒控制

首次运用振动鲁棒控制理论提高电讯系统中硅微机械谐振器及滤波器的性能。克服目前微机械谐振器、滤波器的固有频率不能太高、常压下品质因数降低、对工艺误差和环境变化适应性差等缺点，拟不用真空封装，将微机械谐振器、滤波器及其鲁棒控制电路，同电讯系统的其它功能电路做在同一块硅片上，形成真正的用于信号处理的单片集成MEMS系统。以静电梳驱动折叠梁硅微谐振器及滤波器为研究对象，完成原理性、可行性的理论与实验研究。项目符合"源头创新"的原则，将具有国际领先水平，对于电讯系统的进一步升级，发展具有自主知识产权的微型高性能关键元器件- - -有源硅微机械谐振器、滤波器，抢占这一高技术领域的制高点具有特别重要的意义。