低压下分布参数微机械谐振系统空气分子阻尼机理研究

空气阻尼对微机械谐振系统的性能有非常重要的影响。对于封装在高真空中的微机械谐振系统，空气分子阻尼模型比连续介质阻尼模型更具优越性。但目前空气分子阻尼模型的研究成果不够完善，只有集中参数模型，而且不能处理低压下振动方向平行于基底平面的空气粘性阻尼。基于分子物理学原理，本项目将振动模态理论与统计力学的方法相结合，直接计算做振动的分布参数微结构与做热运动的空气分子碰撞后的能量损失，建立空气分子阻尼模型。创新点为: 针对分布参数微机械谐振系统，首次研究建立自由空间中空气分子阻尼模型和分布参数挤压膜空气分子阻尼模型；首次研究建立振动方向平行于基底平面的微机械谐振系统空气分子粘性阻尼模型（包括集中参数模型和分布参数模型）。