双外腔激光反馈干涉系统测量微位移和微轮廓的研究
基本信息
批准号：50065002
项目类别：地区科学基金项目
资助金额：15.00
负责人：王鸣
学科分类：
依托单位：南昌大学
批准年份：2000
结题年份：2003
起止时间：2001-01-01 - 2003-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：李达成,马力,戚小平,杜文华
关键词：
表面轮廓测量激光反馈干涉位移测量
结项摘要
系统创造地应用双外腔半导体激光反馈干涉理论和傅立叶变换相位检测技术测量绝对距离和微位移.结合共焦显微方法,进一步实现材料表面轮廓的纳米精度的显微测量.研究制的激夥蠢「缮嬉怯锰跷葡辔患觳饧际醴治鏊馇环蠢「缮嫘藕?能从宏观和微观上高精度测定蔡蚨窒?系统结构小巧简单,性能实用可靠.可用于微机械和其它精密计量领域.
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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