波导相移型激光自混合干涉仪测量微纳米技术的研究

本项目研究波导相移型激光自混合干涉仪以及用于MEMS的微纳米测量技术。针对微器件和MEMS的微纳米测量的要求，以及现有的激光自混合干涉仪器工作距离长和测量精度仅在微米的技术状况，把激光自混合干涉理论和高精度的相移测量技术结合，研究电光晶体（EO）调制和解调位相的方法，用微加工工艺形成微型干涉仪，即干涉探头。微型干涉仪容易与显微镜和MEMS匹配，监视和测量物体的变化。开发基于LabView的虚拟仪器。测量物体的光程和对比度的时间和空间变化，高精度地测量绝对距离和位移，并将激光自混合干涉测量精度提高到1纳米。这对于微小尺寸测量领域，对于微机械，MEMS和航空航天等领域的发展，有很重要的意义。