Ge/Si纳米薄膜红外探测材料的研究

理论研究Ge/Si纳米薄膜材料的生长、量子物理、自旋电子及输运特性等，设计工作波长在红外大气窗口Ge/Si探测器的材料结构、器件工艺；实验上采用分子束外延、超高真空离子束沉积技术，结合自组装材料生长、断续逐层生长等特殊工艺，制备出相应性能的Ge/Si纳米薄膜（量子点）材料，进一步研制出红外探测器的原型器件。Si材料的储量丰富、成本低廉、大面积均匀性好，制备的红外探测器可同Si读出电路与超大规模处理电路实现单片的集成，开展这方面的工作可为光电子集成奠定了坚实的基础。