低温等离子体物理及应用战略研讨

Low temperature plasma has attracted much attention for its unique electron and ion energy distribution characteristics, extensive application in high chemical activity as well as the great social and economic benefits it brought for the human society. The applications involve in many aspects such as plasma processing in microelectronics industry, preparation of a variety of hard, corrosion resistance, wear resistance materials, synthesis of nanostructures, and the surface modification of polymers and biological materials. Due to the wide distribution of plasma parameters and the complexity of the state, further study on the plasma discharges, properties and shapes have been faced with many problems. The complexity of the plasma-material interactions can change the properties of plasma and surface of the material at the same time, which has affected the application of plasma. In 2007, the Decadal Study "Plasma Science: Advancing Knowledge in the National Interest" was issued by the U.S.National Research Council. This study, a broad survey of recent progress and future challenges and opportunities in plasma science, highlighted the role of low temperature plasmas (LTPs) as a vital subfield of plasma science. The Report of the Department of Energy Office of Fusion Energy Sciences: "Low Temperature Plasma Science" was issued in March 2008. In our country, with the increasing national strength, prosperity and progress of society, the construction and improvement of the low temperature plasma disciplinary group has been promoted, the number of low temperature plasma physics researchers has been increased year by year, and qualified personnel construction has been reasonable gradually. So far, organization and held a strategic seminar will surely promote a steady and healthy development on China''s low temperature plasma physics and application.

低温等离子体由于其独特的电子、离子能量分布特性、高化学活性的广泛应用而备受关注，其应用涉及微电子工业,各坚硬、耐腐蚀、耐摩擦材料的制备,纳米材料的制备,聚合物以及生物材料的表面改性等各方面；由于等离子体参数分布的宽泛和复杂性,使深入研究遭遇了众多的困难，在等离子体与材料表面的复杂相互作用方面，由于其可同时改变等离子体和材料表面的状态而影响等离子体的应用。2007年美国国家研究委员会发布了《Plasma science：advance knowledge in national interest》的前瞻性报告，2008年美国能源部发布了《Low Temperature Plasma Science》报告，在我国，国力的增强和社会的进步，推动了低温等离子体学科群的建设，研究人员逐年递增，人才队伍日臻合理，至此，召开低温等离子体物理及应用研讨会，将对我国低温等离子体物理及应用的健康发展提供借鉴。

低温等离子体由于其独特的电子、离子能量分布特性、高化学活性的广泛应用而备受关注，其应用涉及微电子工业,各坚硬、耐腐蚀、耐摩擦材料的制备,纳米材料的制备,聚合物以及生物材料的表面改性等各方面；由于等离子体参数分布的宽泛和复杂性,使深入研究遭遇了众多的困难，在等离子体与材料表面的复杂相互作用方面，由于其可同时改变等离子体和材料表面的状态而影响等离子体的应用。2007年美国国家研究委员会发布了《Plasma science：advance knowledge in national interest》的前瞻性报告，2008年美国能源部发布了《Low Temperature Plasma Science》报告。由国家自然科学基金委主办，苏州大学承办的“低温等离子体物理及应用战略研讨会”于2012年10月25-28日在苏州大学召开，此次研讨会围绕：（1）近五年各单位本学科领域的研究现状和研究动态（包括主要研究方向、人才队伍、资助现状、重要成果，以及在推动学科发展和人才队伍建设、营造科研环境等方面的成绩与问题）；（2）研讨未来一段时间学科领域的发展布局、优先领域以及与其他学科交叉的重点方向；（3）开展国际合作的需求和优先领域；（4）对本学科领域建设发展（措施）等方面进行研讨，谋划低温等离子体物理及应用技术的发展战略。研讨会分为主题报告和研讨两大部分。近40位来自全国十几所高校与科研院所的有关专家参加了会议。会后，会议秘书组梳理、整理了会议纪要：（一）从等离子体物理的基础问题；新型等离子体源物理及技术；低温等离子体数值模拟方法；新型等离子体诊断技术；等离子体与材料表面相互作用等五个方面提出低温等离子体物理及应用技术的关键问题；（二）从全面关注人才队伍建设；营造科研环境、扩大影响；加强国际合作与交流；重视学科可持续发展等四个方面提出低温等离子体物理及应用相关学科发展战略。并提出（三）今后基金资助建议等。会议承办方专门针对长三角多功能电子材料（器件）暨低温等离子体应用组织协作论坛，进一步推动合作与发展。本次会议将为推动我国低温等离子体物理及应用的稳定健康发展作出贡献。